咨詢熱線
400 8816 976
400 8816 976
當前位置：首頁 >產品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂儀>HC150PE小型程控勻膠機
產品分類
Product Category詳細介紹
可編程精密勻膠機
型號：HC150PE
HC150PE勻膠機，采用高級PLC 全自動程序控制，轉速精度高，穩定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。
特點：
l 設計緊湊，可放置在手套箱內。
l HDPE內腔與不銹鋼機身可分離，便于清潔和移動。
l 4.3英寸彩色觸屏控制，簡單易用，運行狀態實時顯示。
l 不銹鋼外殼，美觀耐腐蝕。
l 經CNC一體加工成型的HDPE內腔，耐腐蝕，易清潔；
l 內腔壁采用*的凹面設計，有效防濺；
l 高級PLC全自動程序控制，可編程；
l 帶真空度安全互鎖檢測功能；
l 可設置用戶密碼保護功能；
l 配置可調基座，方便調節水平；
l 帶一路自動點膠接口，可升級自動點膠系統；
技術參數：
l 適用晶元尺寸范圍：?10~150mm；
l 旋涂速度：100~12000rpm；
l 轉速分辨率：1rpm；
l 旋涂加速度：100-30000rpm/s；
l 最大旋涂時間：3000s；
l 旋涂時間精度：0.1s；
l 內腔直徑212mm，內腔采用*的凹面防濺設計；
l 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；
l 電源輸入：AC200-230V
設備外形尺寸：長X寬X高：310X254X250mm
小型程控勻膠機
小型程控勻膠機
產品咨詢
官方微信
公司官網
